四氟甲烷
1.物质的理化常数:
国标编号
22033
CAS号
75-73-0
中文名称
四氟甲烷
英文名称
tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
别 名
R14；四氟化碳
分子式
CF4
外观与性状
无色无臭气体
分子量
88.01
蒸汽压
13.33kPa(15.07℃)
熔 点
-183.6℃ 沸点：-128.0℃
溶解性
不溶于水
密 度
相对密度(水=1)1.61(-130℃)
稳定性
稳定
危险标记
5(不燃气体)
主要用途
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干
法蚀刻技术
2.对环境的影响:
一、健康危害
侵入途径：吸入。
健康危害：能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
二、毒理学资料及环境行为
毒性：属低毒类。
急性毒性：大鼠吸入90%(充氧)×15分钟，近似致死浓度；大鼠吸入895000ppm×15分钟，最小致死浓度
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：氟化氢。
3.
现场应急监测方法:
4.
实验室监测方法:
气相色谱法
5.
环境标准:
6.
应急处理处置方法:
一、泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
二、防护措施
呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
三、急救措施
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
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