四氟甲烷

safety

1.
物质的理化常数:


  
    国标编号
    22033
  
  
    CAS号
    75-73-0
  
  
    中文名称
    四氟甲烷
  
  
    英文名称
    tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
  
  
    别    名
    R14；四氟化碳
  
  
    分子式
    CF4
    外观与性状
    无色无臭气体
  
  
    分子量
    88.01
    蒸汽压
    13.33kPa(15.07℃)
  
  
    熔    点
    -183.6℃ 沸点：-128.0℃
    溶解性
    不溶于水
  
  
    密    度
    相对密度(水=1)1.61(-130℃)
    稳定性
    稳定
  
  
    危险标记
    5(不燃气体)
    主要用途
    用作低温致冷剂及集成电路的等离子干
    法蚀刻技术
  



2.对环境的影响:


一、健康危害  

  侵入途径：吸入。

  
健康危害：能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。  

二、毒理学资料及环境行为  

  毒性：属低毒类。

  急性毒性：大鼠吸入90%(充氧)×15分钟，近似致死浓度；大鼠吸入895000ppm×15分钟，最小致死浓度

  
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。

  燃烧(分解)产物：氟化氢。  


3.
现场应急监测方法:


  　  



4.
实验室监测方法:

  气相色谱法  


5.
环境标准:


  　  



6.
应急处理处置方法:

一、泄漏应急处理   

  迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。  

二、防护措施  

  呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。

  眼睛防护：一般不需特殊防护。

  身体防护：穿一般作业工作服。

  手防护：戴一般作业防护手套。

  其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。  

三、急救措施  

   
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。   

  灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。